保管庫・クリーンビュアー
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クリーンルーム内で使用可能な保管庫からロッカーまでご用意。お気軽にご相談ください。 クリーンルーム内といっても、様々な什器は必要になります。お探しの商品がありましたらご相談ください。 |
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写真をクリックすると拡大します。■仕様
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石英管保管庫（縦型） 半導体ウエハーの拡散工程における石英管をクリーンエアーで乾燥させながら、安全に保管できます。縦保管型、横保管型の2機種があります。 詳細情報 |
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全自動レチクルクリーンストッカー レチクル、マスク、ウエハーや世代交代の著しいＦＰＤ用基板などは超清浄な環境で保管し、入手庫管理を行うことが要求されます。当社では保管方式別に全自動、半自動、マニアルの各方式や清浄度、サイズ、数量など現場に合わせて機能・使い勝手を考慮した設計・製作を行ないます。 詳細情報 |
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バッテリー式移動保管庫 クリーンルーム間や工程間の移動を行う際の汚染防止を目的として、移動保管庫が使用されますが、当社製移動保管庫はバッテリーにより清浄空気を供給して庫内を常に浄化し、移動も楽に行える高機能設計となっております。 詳細情報 |
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クリーンロッカー 人の出入りが頻繁なクリーンルーム前室では、多量の塵埃や菌が発生するため、ガーメント専用のクリーン機器で無塵衣などを保管する必要があります。清浄度、保管着数によりお選びいただけます。 詳細情報 |
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ガーメントストッカー（ＥＧＳ型） 人の出入りが頻繁なクリーンルーム前室の場合、多量の塵埃や菌が発生するため、ガーメント専用のクリーン機器で無塵衣などを保管する必要があります。清浄度、保管着数によりお選びいただけます。 詳細情報 |
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ＳＳ-ガーメントストッカー お客様御自身で組立可能かつ安価なガーメントストッカーです。 詳細情報 |
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クリーンビュアー クリーンルームやクリーンベンチの気流を可視化する場合は、トレーサーとして煙あるいは微粒子を用いると汚染の原因となります。「クリーンビュアー」はＨＥＰＡフィルターを通したクリーンエアーと純水を用いたミストをトレーサーとして使用しますのでルーム内を汚染させずに気流を確認することができます。 |
